2003年毕业于清华大学电子系微电子专业,2006年毕业于中国科学院电子学研究所物理电子学专业,并留所工作至今,期间主要从事谐振式微传感器真空封装技术及关键工艺研究,作为工艺线负责人,主要负责MEMS微加工平台的日常运行管理和MEMS工艺研究
MEMS谐振式微传感器研制及其真空封装技术、MEMS工艺研究和开发
毋正伟